경북대학교 전자공학부 우성윤 교수님 연구실(Semiconductor Device & Application Lab.)에서 대학원생과 함께 반도체 공정 장비의 공정 조건 확립 및 최적화 연구에 참여할 학부연구생을 모집합니다.

1. 모집 대상

• 전자공학부/신소재/물리 3학년 2학기 재학생

• 반도체 공정 및 소자 분야에 관심 있는 학생

2. 주요 연구 내용

① Thermal ALD 기반 TiO₂ 박막 증착 공정

• Thermal ALD 증착 조건 최적화

• Deposition Rate 및 박막 두께 분석

• XPS를 활용한 박막 물성 분석

• Capacitor 패턴 제작 및 전기적 특성 평가 (Capacitance, Breakdown Voltage 등)

② PHOTO 공정 조건 확립

• 지하팹 Mask Aligner 노광 조건 최적화

• PR Coating, Exposure, Development 공정 조건 확립

• 노광 조건에 따른 패턴 형성 및 선폭 분석

3. 지원 및 문의

• 연구실 홈페이지: https://sites.google.com/view/sywoo

• 문의: sywoo@knu.ac.kr